Cleam room A(顶送顶回)
适用洁净度:万级、十万级
优点:结构简单、造价低
缺点:气流阻截差,难以有效控制灰尘
Cleam room B(顶送侧回)
适用洁净度:千级、万级、十万级
优点:结构比较简单、设备占用空间小,易扩展
缺点:易产生涡流
Cleam room C(混合半层流式)
适用洁净度:百级、千级
优点:效果好、布置灵活可满足局部较高级别净化区域
缺点:造价高
Cleam room D(层流式)
适用洁净度:一级、十级、百级
优点:效果好、易管理
缺点:设备造价高、运行、维护费用高
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